顯微鏡等精密光學器件的清潔有可能降低器件的性能，不適當或不必要的清潔容易破壞器件的表面鍍膜。正確取放器件并將器件保存在容器中，將大限度地減少清潔次數和器件被損壞的可能。
一、推薦清潔材料
根據環境按比例調配酒精、乙·醚溶液進行光學零件表面清潔工作。
二、推薦清潔步驟
1、用清潔空氣吹掉表面浮塵。如果不能吹干凈，取兩張鏡頭紙裹在棉簽上或將鏡頭紙折疊使之比要清潔的面積稍大。
2、擦拭光學零件表面時，首先應用石油醚將毛砂面和框擦干凈。
3、擦拭圓形零件時，棉花球應從中心向邊緣作螺旋線移動，同時棉花球本身也應轉動，并順勢將棉球從鏡片表面移出，不要在鏡片邊緣停留，以免留下印跡，如果利用回轉器擦拭，則擦拭時，棉球應由中心向邊緣作直線移動，棉球本身同時轉動(棉球的自轉量應略小于一周為宜)。
4、擦拭棱鏡時，可將棉球橫放于被擦拭的表面，以直線形式進行擦拭。
5、應在相對清潔的房間內擦拭，并用脫脂長絨棉擦拭，棉球上所含的清洗液不宜過多，擦拭時應在分劃板刻線的交叉方向移動擦拭，以免將刻線內的填料層擦掉
